您可以先与施工单位协商，协商不成可申请支付令或起诉。依据《民事诉讼法》，若不及时处理，可能导致您的权益长期受损，甚至难以追回欠费。
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欠挖掘机费可这样处理：1. 与施工单位协商，明确欠费金额和支付时间；2. 若协商无果，准备好证据，向法院申请支付令；3. 支付令无效则提起民事诉讼，通过法律途径追讨；4. 如涉及劳动关系，还可向劳动仲裁委申请仲裁。
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常见处理方式有协商、申请支付令、起诉或仲裁。建议先尝试协商，无果后再考虑法律途径，根据欠费情况和证据选择最适合的方式。